UVレーザークリーナー|光響
uvlc

UVレーザーは光子エネルギーが大きく、被照射面で分子結合が直接解離する光分解加工を起こします。
本製品は、この光分解加工原理を用いた汚れ除去が特長の一つで、熱分解加工と比べ、表面の汚れ加工残渣を少なくシャープに仕上げ、母材へのダメージを最小限に抑えることが可能です。
特にUVレーザーを用いることで無機物質上の有機物(油、レジスト等)や紫外線で分解しやすい物の汚れを効果的に除去できます。又、ガルバノスキャナーを介した対物レンズの集光で、数μm以下の微細スポット径を形成し、ピンポイントで限定的なクリーニングも可能です。
対物レンズユニットを取り外すことで、300 mm角エリア迄のクリーニングも可能です。

特徴

  • 光分解加工により、母材ダメージ及び汚れ残渣を軽減
  • レンズを選ぶことにより微小や広域をクリーニング
  • 回折限界に近い微小ビームスポット径 0.48 μm
    (NA0.9 の対物レンズ使用時)
  • 電動ステージ不要の高速ガルバノスキャナーマーキング
  • パソコン画面におけるリアルタイムモニタリング

LMS-UV05A-UF

UVレーザークリーナーの仕様

レーザー発振波長 355 nm
レーザー最大平均出力 100 mW
最大照射エリア 1.6 mm × 1.2 mm(NA0.3のレンズ使用時)
最大スキャン速度
繰り返し周波数 20 kHz ~ 200 kHz
スポット径 0.48 μm(NA0.9の対物レンズ使用時)
1.4 μm (NA 0.3の対物レンズ使用時)
最大照射エリア 極微細用対物レンズユニット未装着時
300 mm × 300 mm(f=430 mmのfθレンズの場合)極微細用対物レンズユニット装着時
1.6 mm × 1.2 mm(NA0.3レンズの場合)
動作温度 15 ℃ ~ 30 ℃
外形寸法(本体) W400 mm × H650 mm × D1050 mm
外形寸法(電源ユニット) W200 mm × H450 mm × D600 mm
外形寸法(チラーユニット) W280 mm × H420 mm × D600 mm
重量(本体)

オプション

  • NA0.13の4倍対物レンズ
  • NA0.3の10倍対物レンズ
  • NA0.5の20倍対物レンズ

極微細用対物レンズユニット未装着時のオプション品

  • f=100のfθレンズ
  • f=160のfθレンズ
  • f=254のfθレンズ
  • f=430のfθレンズ

用途・アプリケーション例

  • 金属、半導体、無機物質上の有機物(油、レジスト等)、有機絶縁膜、紫外線分解後の物質汚れ除去等

加工サンプル

Cu配線基盤上の絶縁有機膜の除去

より詳細な用途例はこちら

UVレーザーマーカー使用動画

各種レーザーマーキング可能な材質の一覧表

UVレーザークリーナーの特長

  • 光分解加工により、母材ダメージ及び汚れ残渣を軽減
  • レンズを選ぶことにより微小や広域をクリーニング
  • 回折限界に近い微小ビームスポット径 0.48 μm
    (NA0.9 の対物レンズ使用時)
  • 電動ステージ不要の高速ガルバノスキャナーマーキング
  • パソコン画面におけるリアルタイムモニタリング

極微細用対物レンズ型UVレーザーマーカーの構成

  • UVレーザー発振器
  • ガルバノスキャナーミラー
  • 極微細用対物レンズユニット
  • 冷却チラー
  • マーキングソフト
  • リアルモニタリングソフト

マーキングソフトを利用しているので、日本語やバーコード入力、CADや写真等も直接取り込みマーカーとして利用することも出来ます。

UVレーザークリーナーの構成図UVレーザークリーナーの構成図

パソコン接続・ソフト操作性

本製品はUSBインターフェースでWindowsパソコン(Win10)と接続して制御を行います。

オプション

極微細用対物レンズユニット装着時のオプション品

  • NA0.13の4倍対物レンズ
  • NA0.3の10倍対物レンズ
  • NA0.5の20倍対物レンズ
極微細用対物レンズユニット未装着時のオプション品

  • f=100のfθレンズ
  • f=160のfθレンズ
  • f=254のfθレンズ
  • f=430のfθレンズ
波長355nmレーザーにおける対物レンズのNAとスポット径

よくあるご質問及び弊社回答

製品本体以外にパソコン等は必要でしょうか?
マーキングソフトはパソコンを使用しますので別途必要です。なお、Win10で動作確認を行っております。
【パソコンスペックめやす】
OS:windows10 64bit
CPU:インテル core-i シリーズ
ROMメモリ:4GB
USB:3ポート(UVレーザーの場合 装置との接続に2ポート使用します)
2ポート(ファイバーレーザーの場合 装置との接続に1ポート使用します)
製品購入時の配送、設置、操作方法の説明等は、御社(光響)で行ってもらえるのでしょうか?
ご説明が必要な方はご購入時に弊社へご来社頂き、弊社技術担当より、取り扱い方法を説明させて頂きます(所要時間:1時間程度)。
また、あくまでとして販売しておりますので、組み立てなどは、お客様にてお願いしております
(その為、他社と比べて安価で提供できております)。なお、マニュアルをご覧頂ければ、組み立て作業自体は簡単に終了します。
製品購入後の操作方法の問い合わせ等は、可能でしょうか?
もちろん、お気軽にお問い合わせ下さい。弊社の技術担当が、対応致します。
光響での使用は可能でしょうか?
可能です。お客様が、例えば自社製品クリーニングされたい場合は、最初の1時間は5万円、その後は1時間当たり2万円のお見積りになります。
生産ラインに入れることは可能でしょうか?
本製品は外部信号によるマーキング制御が可能ですが、お客様にて生産ライン設計をして頂く必要がございます。
事前にサンプル品をお渡しして、サンプルテストをして頂く事は可能でしょうか?
上記にある「ファイバーレーザーマーカーの加工材質の比較」表をご覧ください。比較表にないサンプルでウェブ公開できるサンプルにつきましては、無償にてお受けさせて頂きます。比較表にあるサンプルあるいは公開できないサンプルにつきましては、有償にてお受けさせて頂きます。無償と有償の区別につきましては下表をご覧ください。正式なお見積りにつきましてはお問い合わせください。

無償となる内容 有償となる内容
  • 比較表にないサンプルでウェブ公開できるサンプルのマーキング
  • レーザーの条件出しを必要としない単なるマーキング
  • 製品の閲覧のみ
  • 左記以外
レンタルは可能でしょうか?
弊社のレーザー製品サブスクサービスをご覧ください。
客先より、いつもAIやPDF等でデータをもらいますが、それらをデータ変換するソフト等はあるでしょうか?
AI,dxf等のベクトルファイルに対応しております。ただ、バージョンにより非対応の場合があります。
その場合にはビットマップ形式に変換してのご使用を推奨しております。なお、オープンソフトで変換してご使用頂いても、問題はございません。

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