Si₃N₄（窒化ケイ素）

特徴
  • ケイ素と窒素から成る化合物で、化学式は Si₃N₄。
  • 硬度が高く、耐摩耗性、耐熱性、耐薬品性に優れる。
  • セラミックスの中でも強度と破壊靭性が高く、機械部品に適している。
  • 熱膨張が小さく、急激な温度変化に対する耐熱衝撃性に優れる。
  • 電気絶縁性に優れる一方、硬いため加工が難しい。
用途 ベアリング用ボール、切削工具、耐熱部品、半導体製造装置部品、パワーモジュール用絶縁基板。
Si₃N₄（窒化ケイ素）

加工事例

エンボス加工

  • 材料：窒化ケイ素
  • 加工内容：エンボス加工
  • 波長：343 nm
  • パルス幅：フェムト秒
窒化ケイ素 エンボス加工
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加工結果

窒化ケイ素エンボス加工 拡大画像
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窒化ケイ素 エンボス加工 高低差画像
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窒化ケイ素 エンボス加工 寸法画像
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