PI（ポリイミド）
| 特徴 |
|
|---|---|
| 用途 | フレキシブル基板（FPC）、電子機器の絶縁フィルム、半導体製造工程用テープ、耐熱ラベル、モーター・トランスの絶縁材、航空宇宙機器の断熱・絶縁材料、MEMS・精密電子部品の基材、太陽電池・宇宙用フィルム材料 |
加工事例
微小穴加工①
- 目的：材料に対し微細穴あけ加工
- 材料：ポリイミドフィルム、t = 50 μm (0.05 mm)
- 結果：穴同士が接触しない限界まで近づけて、六方最密パターンに配列
加工結果
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超高精密フェムト秒レーザー加工機 Femto-pro で加工可能な最小穴サイズ
微小穴加工② – フェムト秒レーザーとナノ秒レーザーの比較
フェムト秒レーザー(精密加工機)とナノ秒レーザー(マーカー)による ポリイミドフィルムの加工性比較
＜加工した材料＞
- ポリイミドフィルム
- 厚さ：50 μm
＜加工内容＞
- 微小穴加工、切断加工、ザグリ加工
＜各レーザーの波長＞
- フェムト秒レーザー 343 nm
- ナノ秒レーザー 355 nm
形状比較
フェムト秒レーザーの方が、品質良く加工できている。ナノ秒レーザーの方が材料に対して熱影響が大きいため、穴形状が歪みやすい。フェムト秒レーザーは穴同士近づけても、壁をミクロン単位まで狭くできる。（画像は6 μm程度）
→ 熱の影響が少ないため、壁部分が保たれる。
【UV fsレーザー】
【UV nsレーザー】
サイズ比較
【UV fsレーザー】
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【UV nsレーザー】
切断加工 – フェムト秒レーザーとナノ秒レーザーの比較
洗浄前
【UV fsレーザー】
【UV nsレーザー】
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洗浄後
フェムト秒レーザーとナノ秒レーザーを比較すると洗浄後に大きく違いはない。フェムト秒レーザーは洗浄前と洗浄後の違いがあまりない。
→ 炭化が少ないので、フェムト秒レーザーだと洗浄不要。
【UV fsレーザー】
【UV nsレーザー】
ザグリ加工 – フェムト秒レーザーとナノ秒レーザーの比較
四角 1 mm角
どちらもザグリ加工が可能。ナノ秒レーザーの方に若干焦げ（炭化）がみられる。（①）
そのため、フェムト秒レーザーの方がポリイミドフィルムに対して熱影響が少ないといえる。
【UV fsレーザー】
【UV nsレーザー】
