内部加工｜加工事例
GaN（窒化ガリウム）
- 材料：GaN（窒化ガリウム）
- 加工内容：内部加工（スライシング）
- 波長：1030 nm
- パルス幅：フェムト秒
- 結果：基板の厚さ方向中央付近に改質層を生成し、上下方向引っ張ることで剥離（ウエハ化）できる
加工結果
SiC（炭化ケイ素）
- 材料：SiC（炭化ケイ素）
- 加工内容：内部加工（スライシング）
- 波長：1030 nm
- パルス幅：フェムト秒
- 結果：基板の厚さ方向中央付近に改質層を生成し、上下方向引っ張ることで剥離（ウエハ化）できる
加工結果
加工前（上面）
加工後（上面）
加工前（側面）
加工後（側面）
PMMA（アクリル）
- 材料：PMMA（アクリル）
- 加工内容：内部加工（グレーティング）
- 波長：1030 nm
- パルス幅：フェムト秒
- 結果：樹脂内部に加工痕を生成し、表面の傷や汚れに影響されず意匠性の付与が可能
PC（ポリカーボネート）
- 材料：PC（ポリカーボネート）
- 加工内容：内部加工
- 波長：1030 nm
- パルス幅：フェムト秒
- 結果：樹脂の内部に加工痕を生成し、表面の傷や汚れに影響されず意匠性の付与が可能
ソーダガラス
- 材料：ソーダガラス
- 加工内容：内部加工
- 波長：1030 nm
- パルス幅：フェムト秒
- 結果：ガラスの内部に加工痕を生成し、表面の傷や汚れに影響されず意匠性の付与が可能
石英ガラス
- 材料：石英ガラス
- 加工内容：内部加工
- 波長：1030 nm
- パルス幅：フェムト秒
- 結果：ガラスの内部に加工痕を生成し、表面の傷や汚れに影響されず意匠性の付与が可能
ホウケイ酸ガラス
- 材料：ホウケイ酸ガラス
- 加工内容：内部加工
- 波長：1030 nm
- パルス幅：フェムト秒
- 結果：ガラスの内部に加工痕を生成し、表面の傷や汚れに影響されず意匠性の付与が可能
