透明電極膜 FTO（フッ素ドープ酸化スズ）

特徴
  • 酸化スズ SnO₂ にフッ素をドープした透明導電性酸化物。
  • 可視光透過性と導電性を両立する透明電極膜である。
  • 主にガラス基板上に成膜され、FTO膜付きガラス基板として使用される。
  • ITOに比べて耐熱性・化学的安定性に優れ、高温プロセスに適している。
  • インジウムを使用しないため、原料コスト面で有利である。
  • 表面粗さや透明性の点では、用途によってITOに劣る場合がある。
    		•
    用途 透明電極、太陽電池、色素増感太陽電池、ペロブスカイト太陽電池、タッチパネル、電気化学セル。
    透明電極膜

    加工事例

    除去加工

    • 材料：透明電極膜(FTO/フッソドープ酸化スズ)
    • 加工内容：除去加工
    • 波長：1064 nm
    • パルス幅：ナノ秒
    • 結果：
    仮動画(マーケ部に撮影依頼)

    加工結果

    仮(マーケ部に撮影依頼)

    SiC(炭化ケイ素)_上面_加工前

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