穴あけ加工｜加工事例
Si（シリコン）
- 材料：シリコンウエハ 厚さ 0.5 mm
- 加工内容：穴あけ加工
- 波長：515nm
- パルス幅：フェムト秒
- 結果：φ200 μmの穴を250 μm間隔で貫通（壁厚50 μm）
加工結果
PI（ポリイミド）①
- 目的：材料に対し微細穴あけ加工
- 材料：ポリイミドフィルム、厚さ 50 μm
- 結果：穴同士が接触しない限界まで近づけて、六方最密パターンに配列
加工結果
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超高精密フェムト秒レーザー加工機 Femto-pro で加工可能な最小穴サイズ
PI（ポリイミド）② – フェムト秒レーザーとナノ秒レーザーの比較
フェムト秒レーザー（精密加工機）とナノ秒レーザー（マーカー）による ポリイミドフィルムの加工性比較
- 材料：PI(ポリイミド) 厚さ 50 μm
- 加工内容：穴あけ加工
- 波長：フェムト秒 343 nm、ナノ秒 355 nm
- 結果：フェムト秒レーザーはナノ秒レーザーと比較して熱影響を抑制できるため、穴同士が近くても形状を保持でき、穴間の壁を崩さずに加工できる。
【UV fsレーザー】
【UV nsレーザー】
Ti（チタン）
- 材料：Ti（チタン） 厚さ 50 μm
- 加工内容：穴あけ加工
- 波長：343 nm
- パルス幅：フェムト秒
- 結果：表側φ18 μm、裏側φ10 μmの加工
Cr（クロム）
- 材料：鉄クロム2種 厚さ 50 μm
- 加工内容：穴あけ加工
- 波長：343 nm
- パルス幅：フェムト秒
- 結果：表側φ21 μm、裏側φ11 μmの加工
Ni（ニッケル）
- 材料：Ni（ニッケル） 厚さ 50 μm
- 加工内容：穴あけ加工
- 波長：343 nm
- パルス幅：フェムト秒
- 結果：表側φ28 μm、裏側φ10 μmの加工
Pb（鉛）
- 材料：Pb（鉛） 厚さ 0.5 mm
- 加工内容：φ30の穴あけ
- パルス幅：フェムト秒
ニッケル合金
- 材料：ニッケル合金 厚さ 50 μm
- 加工内容：穴あけ加工
- 波長：343 nm
- パルス幅：フェムト秒
- 結果：表側φ24 μm、裏側φ11 μmの加工、難削材に対して小径穴加工が可能
ソーダガラス
- 材料：ソーダガラス 厚さ 1.2 mm
- 加工内容：穴加工
- 波長：1030 nm
- パルス幅：フェムト秒
- 結果：ベッセルビーム等の特殊な光学系を使用せず1.2mm以上のガラス板を貫通
加工結果
ホウケイ酸ガラス
- 材料：ホウケイ酸ガラス
- 加工内容：穴あけ加工
- 波長：1030nm
- パルス幅：フェムト秒
- 結果：ベッセルビーム等の特殊な光学系を使用せず4 mm以上の深さの穴を掘削
加工結果
