光学素子
ミラー
スーパーミラー (TFHSM)
距離や時間の極限の精度を光を使って求めるときには、ファブリペローの共振器(キャビティー)が使われます。 スーパーミラーはこの共振器の性能を上げるために、反射率を限りなく1に近づけた超高性能なミラーです。
イオンビームスパッタリング法(IBS)を使用して、緻密で欠陥の少ない高品質な膜が蒸着されています。
特殊な研磨技術を用い、表面粗さRa0.1 nm以下の低散乱基板を使用しています。
長年築き上げてきた膜設計技術により、反射率99.999%の反射膜を実現しました。
基板や膜による散乱損失は極めて小さく、キャビティーを構成したときに、非常に狭いスペクトル幅と高いフィネスが期待できます。
波長532 nmと1064 nmの2タイプをご用意しています。
TFHSM共通仕様
| 材質 | 合成石英 |
|---|---|
| コーティング | 表面 誘電体多層高反射コート 裏面 誘電体多層反射防止コート |
| 入射角度 | 0° |
| 基板面精度 | λ/10 |
| 平行度 | <5″ |
| スクラッチ-ディグ | 10-5 |
| 有効径 | 外径の80% |
| 裏面反射率 | <0.15% |
| 形状 | 平面基板 |
ハイパワーレーザ用ミラー (TFMHP/TFMHPQ)
エネルギーが大きい光学系に使用するためのミラーです。
TFMHPシリーズはパルスNd-YAGレーザ (またはYb-YLFレーザ) やエキシマレーザの光学系に、TFMHPQシリーズはYbパルスレーザの光学系に使用するためのミラーです。
TFMHPシリーズは、YAGレーザの波長に合わせ、基本波 (1064 nm) から4倍波 (266 nm) までのミラーとArF (193 nm)、KrF (248 nm) のエキシマレーザ用のミラーをご用意しています。
TFMPQシリーズは、Ybレーザの波長に合わせ、基本波 (1030 nm)、2倍波 (515 nm)、3倍波 (343 nm)、4倍波 (257 nm) のミラーをご用意しています。
高い反射率が得られるので、ミラーを複数枚反射させても、光量は大きく減衰しません。
吸収がない誘電体多層膜を使用しているので、高出力レーザの連続照射にも耐えられます。
TFMHP/TFMHPQ共通仕様
| 材質 | TFMHP: BK7 TFMHPQ: 合成石英 |
|---|---|
| コーティング | 誘電体多層膜 |
| 入射角度 | 45°±3° |
| 基板面精度 | λ/10 |
| 平行度 | <3′ |
| スクラッチ-ディグ | 10-5 |
| 有効径 | 外径の90% |
| 裏面 | 研磨面 |
2波長ミラー (TFMMW)
Nd-YAGレーザやファイバーレーザ (2倍波まで) に対応し、1枚で2つの波長帯域をカバーするミラーです。
YAGレーザ・ファイバーレーザの基本波に加え、2倍波までカバーし、2つの帯域で99%以上の高反射率を実現しました。
高い反射率を実現しているため、ミラーを複数回反射させても、光量は大幅に減少しません。
誘電体多層膜のミラーを使用しているため、ミラー面にキズがつきにくく、クリーニングが可能です。
膜の吸収が少ないため、経時変化が少なく、連続的なレーザの照射にも耐えられます。
TFMMW共通仕様
| 材質 | 合成石英 |
|---|---|
| コーティング | 誘電体多層反射防止膜 |
| 入射角度 | 45° |
| 基板面精度 | λ/10 |
| 平行度 | <3′ |
| スクラッチ-ディグ | 20-10 |
| 有効径 | 外径の90% |
| 裏面 | 研磨面 |
ビームスプリッター
ハーモニック・セパレーター (YHS/YHSQ)
YAGレーザ (1064 nm) を高調波変換したレーザ光 (266 nm、355 nm、532 nm) を波長で分離または合波する場合に使用します。反射率波長が違う5種類をご用意しています。
誘電体多層膜を使用しているので、膜に吸収がなく、エネルギー密度の高いレーザ光にも使用できます。
プレートタイプのため、ビーム径の大きなレーザにも使用できます。
99.2%以上の高い反射率 (2波長仕様は98%以上) により、反射波長と透過波長を分離することができます。
YHS/YHSQ共通仕様
| 材質 | YHS: BK7 YHSQ:合成石英 |
|---|---|
| 基板面精度 | λ/10 |
| コーティング | 表面 誘電体多層膜 裏面 反射防止膜 |
| 入射角度 | 45° |
| 平行度 | <5″ |
| スクラッチ-ディグ | 10-5 |
| 有効径 | 外径の90% |
ポルカドットビームスプリッター
ポルカドットビームスプリッターとは、ガラス基板に網点 (水玉模様) のアルミコーティングを施したビームスプリッターです。
入射角依存性が少なく、紫外域から赤外域までの幅広い波長で使用できます。
コーティングされた点の面積比によって反射透過率比が調整されています。
誘電体タイプのビームスプリッタとは異なり、入射角度を変えても反射透過率比の変化は殆ど生じません。
外径がφ25.4 mmとφ50.8 mmの2タイプと7:3、5:5、3:7の3種類の反射透過率比をご用意しています。
PDBS共通仕様
| 材質 | 合成石英 |
|---|---|
| 平行度 | <3′ |
| コーティング | 表面 Al+MgF2 裏面 ノーコート |
| 推奨入射角 | 0~45° |
| 使用波長範囲 | 250~2200 nm |
| スクラッチ-ディグ | 80-50 |
| ドットピッチ | 0.3 mm |
偏光素子
ハイパワー用偏光ビームスプリッター (PBSHP/PBSHPQ)
Nd-YAGレーザやYbレーザなどのパルスレーザ用に設計された偏光ビームスプリッターです。
プリズムの貼り合わせ面に接着剤を使わず、オプティカルコンタクトで接合しているので、ハイパワーレーザにも耐えられます。
低蛍光で耐熱衝撃性に優れた合成石英をキューブ材質に使用した製品もラインナップしています。
PBSHP/PBSHPQ共通仕様
| 材質 | BK7 合成石英 |
|---|---|
| 基材面精度 | λ/4 |
| 透過ビーム偏角 | <10′ |
| コーティング | 斜面 誘電体多層膜 |
| 側面4面 反射防止膜 | |
| 入射角度 | 0° |
| P偏光透過率 | >97% |
| 透過消光比 | Ts:Tp=1:200 |
| スクラッチ-ディグ | 20−10 |
| 有効範囲 | 外形寸法の85%の正方に内接する円 |
ワイヤーグリッド偏光フィルター / WGPF-30C
100~150nm間隔のアルミ線網が加工されたワイヤーグリッドフィルムを使用しているため、可視光から赤外域で直線偏光を取り出すことが出来ます。
偏光実験や偏光を使った光量調整に使うことができます。
- 赤外域では10-3程度の消光比が得られます。
- 吸収タイプの偏光フィルターより耐熱性に優れています。
- 枠に固定されているので、素子の取扱いが容易で、ホルダーへの固定は簡単です。
- 金属枠の印の方向に振動する直線偏光成分のみ透過します。
- 厚さ t 2.2 mm
- コーティング 無し
- 適応波長 420~1600 nm
- 枠外径 φA φ30 mm
- 有効径 φD φ23 mm
- 枠材質 アルミ 表面処理:黒アルマイト
NDフィルター
吸収型固定式NDフィルター / AND-10C-001
可視光を減光するための丸型のフィルターです。
吸収タイプなので、反射による迷光が小さく、しかも、減光によって透過光の波長特性が大きく変わることはありません。
詳細
- 透過率が細かく分かれているので、色々な光量に減光できます。さらに、複数枚のフィルターを組合わせることで、微妙な光量調整が可能です。
仕様
| 材質 | 光学ガラス(光学吸収物質を含有) |
|---|---|
| 適応波長 | 400~700 nm |
| 外径 φD | φ10 mm |
| 平均透過率(400~700 nm) | 0.1±0.07% |
可視用枠付吸収型固定式NDフィルター / MAN-25-0.1
可視光を減光するための枠付きのフィルターです。
吸収タイプなので、反射による迷光が小さく、しかも、減光によって透過光の波長特性が大きく変わることはありません。
詳細
- 透過率が細かく分かれているので、色々な光量に減光できます。さらに、複数枚のフィルターを組合わせることで、微妙な光量調整が可能です。
- フィルターに枠付が付いているので、フィルターホルダー (FH) に固定して使うことができます。枠径φ30mmは適応するフィルターホルダーがありません。レンズホルダー (LHF-30S) をご使用ください。
仕様
| 材質 | 光学ガラス(光学吸収物質を含有) |
|---|---|
| 適応波長 | 400~700 nm |
| 枠外径 φD | φ25 mm |
| 有効径 φA | φ17 mm |
| 平均透過率(400~700 nm) | 0.1±0.07% |
| 枠 | 材質:アルミ 表面処理:黒アルマイト |
