ビームプロファイラ Q&A vol.6

光響のアッテネーターセットの減衰率について

  • レーザー光を測定する際は、CCDカメラの故障リスクを減らすため、アッテネーターセットを使用します。レーザーパワーを減衰する方法には、NDフィルターで減光する方法とビームスプリッターを併用して減光する方法の２種類が選択できます。

    • NDフィルターを使用する方法

    NDフィルターセット

    型式：NDFS-CA50

    特徴

    • 吸収型NDフィルタ
    • NDフィルタ斜めマウント付き

    用途

    • レーザーパワー100mW未満の減光・減衰

    仕様

    • OD=0.1, 0.2, 0.3, 0.4, 0.5, 0.6, 1.0, 2.0, 3.0, 4.0
    • フィルタサイズ：1インチ

    OD値（Optical Density)について

    • OD値とは吸収度合いを対数で示した値です。OD値が高い程、減衰率が高くなります。

    光学濃度（OD値） 減衰率 透過率（％） 遮へい率　（％）
    0.1 4/5 79% 21%
    0.2 3/5 63% 37%
    0.3 1/2 50% 50%
    0.4 2/5 39% 61%
    0.5 1/3 32% 68%
    0.6 1/4 25% 68%
    1 1/10 10% 90%
    2 1/100 1% 99%
    3 1/1000 0.10% 99.90%
    4 1/10,000 0.01% 99.99%

    ビームスプリッターを併用する方法

  • レーザー光のパワーが100 mW以上強くなると吸収型NDフィルタで熱レンズ効果が発生してしまうため、更に減光することができるビームスプリッタが必要となります。光響では、減衰率とレーザー波長の違いで以下の3種類の製品を用意しています。


    • 型式：OAS-CA50（ビームスプリッタ付き減衰光学系セット）

    特徴

    • CA50-NCGに直接装着可能
    • 波長範囲 ：350-700 nm（又は650-1010 nm）
    • パワーの目安：< 1 W（S偏光の場合） < 10 W（P偏光の場合）
    • NDフィルタ付属 ：OD=1.0, 2.0, 3.0, 4.0

    用途

    • 高強度・高出力レーザー光の減光・減衰

    • 減衰率表（NDフィルター ＋ ビームスプリッター）

    NDフィルター（OD値） P偏光減衰率 S偏光減衰率 P偏光透過率（％） S偏光透過率（％） P偏光遮へい率（％） S偏光遮へい率（％）
    なし 1/100 1/10 1% 10% 99% 90%
    1.0 1/1,000 1/100 0.1% 1% 99.9% 99%
    2.0 1/10,000 1/1,000 0.01% 0.1% 99.99% 99.9%
    3.0 1/10,000 1/10,000 0.001% 0.01% 99.999% 99.99%
    4.0 1/1000,000 1/1000,000 0.0001% 0.001% 99.9999% 99.999%


    型式：OAS-CA50-100（ダブルビームスプリッタ付き減衰光学系セット）

    ビームスプリッタ付き減衰光学系セット（OAS-CA50）と比べて減衰率を改善しています（< 100 W）。

    特徴

    • CA50-NCGに直接装着可能
    • 波長範囲 ：350-700 nm（又は650-1010 nm）
    • パワーの目安 ：< 100 W(平均出力)
    • NDフィルタ付属 ：OD=1.0, 2.0, 3.0, 4.0

    用途

    • 高強度・高出力レーザー光の減光・減衰

    • 減衰率表（NDフィルター ＋ ビームスプリッター）

    NDフィルター（OD値） 減衰率 透過率（％） 遮へい率（％）
    なし 1/1,000 0.1% 99.9%
    1.0 1/10,000 0.01% 99.99%
    2.0 1/10,000 0.01% 99.999%
    3.0 1/100,000 0.0001% 99.9999%
    4.0 1/10,000,000 0.00001% 99.99999%

    型式：OAS-CA50-100-UV（UV 対応ダブルビームスプリッタ付き減衰光学系セット）

    ダブルビームスプリッタ付き減衰光学系 セット(OAS-CA50-100）と比べて、微細加工や半導体解析に有効な UV 領域に波長範囲を広げています(200~700 nm)。また、OAS-CA50-100と同様に100 W(平均出力)までの使用に耐えられます。

    特徴

    • CA50-NCGに直接装着可能
    • 波長範囲 :200~700 nm
    • パワーの目安 :< 100 W(平均出力)
    • ND フィルタ付属:OD=1.0, 2.0, 3.0

    用途

    • 高強度・高出力 UV レーザー光の減光・減衰

    • 減衰率表（NDフィルター ＋ ビームスプリッター）

    NDフィルター（OD値） 減衰率 透過率（％） 遮へい率（％）
    なし 1/1,000 0.1% 99.9%
    1.0 1/10,000 0.01% 99.99%
    2.0 1/10,000 0.01% 99.999%
    3.0 1/100,000 0.0001% 99.9999%
    4.0 1/10,000,000 0.00001% 99.99999%