ビームプロファイラ Q&A vol.5
LHBの空間分解能と測定誤算について
LHBの空間分解能
LHBの空間分解能は以下になります。ビーム径が、空間分解能の6~10倍以上あれば、問題なく測定が可能です。推奨は空間分解能の10倍以上のビーム径です。
| 型式 | 空間分解能 |
|---|---|
| LHB-25 | 50μm |
| LHB-50 | 100μm |
| LHB-100 | 200μm |
| LHB-200 | 400μm |
| LHB-800 | 1200μm |
LHBシリーズの空間分解能xと測定誤算の関係（代表例）
| 実ビーム径 | 観測ビーム径（誤差%） |
|---|---|
| x μm | 1.41*x μm (+41%) |
| 2*x μm | 2.34*x μm (+12%) |
| 3*x μm | 3.16*x μm (+5.4%) |
| 5*x μm | 5.10*x μm (+2.0%) |
| 10*x μm | 10.05*x μm (+0.5%) |