Sino-Galvo (Jiangsu) Technology社について
Sino Galvo社は、中関村のハイテク工業団地に位置している高度なガルバノスキャナーのメーカーです。光学走査ガルバノメーターとその制御システムの研究開発、生産、販売を専門とし、江蘇省鎮江市に工業用検流計スキャナーの世界最大の生産拠点を有します。同社は2001年の設立以来、レーザーに広く適用されている独立した知的財産権を持つ一連のレーザーガルバノメーターシステムとソフトウェア制御システムを開発しました。
マーキングや彫刻、医療用化粧、3Dレーザー印刷、レーザークリーニング、レーザー溶接、レーザー切断、科学研究などの分野での応用が期待されます。
競合他社と比べ、圧倒的なコストパフォーマンスが特長で、中国で60%以上のシェアを獲得し、米国、ドイツ、ロシア、イタリア、トルコ、ポーランド、ブラジル、韓国、インド等、多数の国へ製品を輸出中で、納品後1.5年の保証期間があります。
ISO 9001(品質マネジメントシステム)、CEマーク、RoHS、FCC Part15B (EMC関連) など国際規格認証を数多く取得しており、ガルバノスキャナーは、1ヶ月に5千台出荷されています。
ラインナップ
| Industrial Scanner | Dynamic Focusing | Laser Cleaning |
|---|---|---|
| Medical Galvo | Control System | Scan Component |
| 3D Printer | Science Research |
1軸ガルバノスキャナー
- SG8216
2軸ガルバノスキャナー
| 型番 | JD1105 | JD1403 | JD2203 | SG7220 | JD2208 | SG8220 | SG8230 |
| Working Temperature | 0℃ 〜45℃ | ||||||
| Linearity | 99.90% | ||||||
| Small step response time | ≦ 0.3ms | ≦ 0.3ms | ≦ 0.35ms | ≦ 0.3ms | ≦ 0.6ms | ≦ 0.8ms | ≦ 1.2ms |
| Scale Drift | ＜40PPM/℃ | ||||||
| Zero Drift | <15 μRad./ ℃ | ||||||
| Long-term Drift Over 8 Hours | <0.5mRad. | ||||||
| Peak Current | 15A | 15A | 15A | 15A | 15A | 20A | 25A |
| Maximum Scan Angle(Mech) | ±15℃ | ||||||
| Storage Temperature | -10℃ to +60℃ | ||||||
| Resolution | 12μRad. | ||||||
| Repeatability | 8μRad. | ||||||
| Input Aperture | 7mm | 9mm | 10mm | 10mm | 14mm | 20mm | 30mm |
| Beam Displacement | 9.5mm | 12.4mm | 13.4mm | 13.4mm | 18.7mm | 26mm | 35.5mm |
| Weight of scanner | 650g | 800g | 1580g | 1700g | 1740g | 3650g | 7600g |
| Frequency | ≤1200Hz | ≤1200Hz | ≤1000Hz | ≤1200Hz | ≤６０0Hz | ≤５00Hz | ≤４00Hz |
| Drive board input voltage | ±15VDC | ||||||
| Interface Signals Digital | XY2-100 | ||||||
| Interface Signals Analog | ±5V、±10V | ||||||
| Analog Signal Input Resistance | 200KΩ ±１％ | ||||||
| Position Signal Input Resistance | 1KΩ±1% | ||||||
| Position Signal Scale Factor | 0.33V/° | ||||||
| Driver Board Dimensions(L x W x H) | 75 x 50 x 28mm | 80 x 54 x 33mm | |||||
2軸フルデジタルガルバノスキャナー
本品は、高精度用途のフルデジタルガルバノスキャナで、優れた走行安定性、高い位置決め精度、高速マーキング、強力な干渉防止機能を備えている。性能は、この分野で国際的なトップレベルに達したS社のガルバノスキャナと同等である。利点は次の通りである。
（特長・利点）
- 米国から輸入し、独自の知的財産権を所有する光動センサーを採用
- 差動光電センサーを搭載し、モーターローター位置を正確に検出
- 高度なデジタルサーボドライブ技術を採用し、ガルバノスキャナのパラメータの自動一致と自動調整を実装し、システム全体の熱消費電力を低減化
（比較表／参考）
| Sino Galvo社 | S社 | |
| SG7210-ED | – | |
| Dynamics | ||
| Aperture (mm) | 10 | 10 |
| Tracking Error (ms) | <0.14 | 0.11 |
| Typical Speeds (F=160mm) | ||
| Marking speed (m/s) | 10 | 3.5 |
| Positioning speed (m/s) | 20 | 12 |
| Step response time (1/1000 SET) | ||
| 1% of full scale (ms) | 0.28 | 0.4 |
| 10% of full scale (ms) | 0.93 | 1.1 |
| Precision & stability | ||
| Repeatability (rms) (μrad) | <5 | <2 |
| Positioning resolution (bits) | 16 | 18 |
| Common Specification | ||
| Typical scan angle (‘) | ±22 | ±20 |
| Interface (protocol) | XY2-100 | XY2-100 |
| Angle resolution (bits) | 16 | 20 |
| 型番 | SG7210-ED |
|---|---|
| Speed | |
| Marking Speed(1) | 10000mm/s |
| Positioning Speed | 20000mm/s |
| Writing Speed(2) | 600cps |
| Step Response Time(1% of full scale) | 280us |
| Step Response Time(10% of full scale) | 930us |
| Tracking Error Time | ≤140us |
| Precision and Error | |
| Linearity | 99.90% |
| Repeatability (RMS) | <5μRad（RMS） |
| Gain Error | <5mRad |
| Zero Offset | <5mRad |
| Long-term Drift Over 8 Hours | <0.1mRad |
| Scale Drift | <25PPM/℃ |
| Zero Drift | <15μRad/℃ |
| Lens Damage Threshold | |
| Si Matrix | 10J/cm^2 |
| Wavelength(3) | 10600nm / 1064nm / 355nm |
| Power and Signal | |
| Input Voltage | ±15VDC |
| Rated Current | 2A |
| Peak Current | 6A |
| Interface Protocol | XY2-100 |
| Machinery Scan Angle(4) | ±11° |
| Working Current, Temperature, Dimension | |
| Working Temperature | 0℃~45℃ |
| Storage Temperature | -10℃~60℃ |
| Aperture | 10mm |
| Galvanometer Scanner Dimension (L*W*H) | 114×96.5×116.3mm |
| Galvanometer Scanner Weight | ≈2.5kg |
Note: The above data are tested after 30 min warm-up
(1) With F-theta objective, F=160mm, marking 2mm height single character
(2) With F-theta objective, F=160mm, marking 1mm height single character per second
(3) Special wavelength coating film can be customized
(4) If any special requirement, customization is available. Factory default value is ±11°, maximal value is ±15°.
3軸ガルバノスキャナー
| 型番 | SG7210-3D | SG8230-3D |
| Working Temperature | 0℃ 〜45℃ | |
| Linearity | 99.90% | |
| Working field | 300mm x 300mm | １２00mm x １２00mm |
| Wavelength | 1064nm | 106００nm |
| Small step response time | ≦ 0.3ms | ≦ １.２ms |
| Scale Drift | ＜40PPM/℃ | |
| Zero Drift | <15 μRad./ ℃ | |
| Long-term Drift Over 8 Hours | <0.5mRad. | |
| Peak Current | 15A | ２5A |
| Maximum Scan Angle(Mech) | ±15℃ | |
| Storage Temperature | -10℃ to +60℃ | |
| Resolution | 12μRad. | |
| Repeatability | 8μRad. | |
| Input Aperture | 10mm | ３0mm |
| Frequency | ≤1２00Hz | ≤３00Hz |
| Drive board input voltage | ±15VDC | ±24VDC |
| Interface Signals Digital | Digital XY2-100 | |
| Analog Signal Input Resistance | ２００KΩ±1% | |
| Position Signal Input Resistance | 1KΩ±1% | |
| Position Signal Scale Factor | 0.33V/° | |
| Driver Board Dimensions(L x W x H) | 75 x 50 x 28mm | 80 x 54 x 33mm |
fθレンズ
波長10μm
| Model | Lens mm |
Scanning Field mm |
Focusing Spot um |
Best Spot φ mm |
Max. Angle deg |
|---|---|---|---|---|---|
| SL1-10.6-F50-25.4 | 50 | 12*12 | 53 | 12 | 10 |
| SL1-10.6-35-52Z1 | 52 | 35*35 | 67 | 10 | 30 |
| SL1-10.6-F52Z-40 | 52 | 31*31 | 67 | 10 | 25 |
| SL1-10.6-35-60G | 60 | 35*35 | 78 | 10 | 28 |
| SL1-10.6-50-75Z | 75 | 50*50 | 97 | 10 | 30 |
| SL1-10.6-F75Z-48 | 75 | 50*50 | 97 | 10 | 28 |
| SL1-10.6-F100Z-40 | 100 | 60*60 | 129 | 10 | 25 |
| SL1-10.6-F100Z-48 | 100 | 69*69 | 107.4 | 12 | 28 |
| SL1-10.6-F120Z-44 | 120 | 75*75 | 154.6 | 10 | 25 |
| SL1-10.6-F150Z-40 | 150 | 90*90 | 193.4 | 10 | 25 |
| SL1-10.6-F150Z-48 | 150 | 107*107 | 161 | 12 | 29 |
| SL1-10.6-F200Z-48 | 200 | 140*140 | 171 | 15 | 28 |
| SL1-10.6-F200Z-70 | 200 | 140*140 | 160 | 16 | 28 |
波長1064nm
| No. | Lens mm | Scanning Angle ±° |
Scanning Length mm |
Scan Range mm |
Average Spot um |
|---|---|---|---|---|---|
| SL-1064-70-100 | 100 | 25 | 90 | 70*70 | 22.5 |
| SL-1064-105-152 | 152 | 25 | 132 | 105*105 | 28 |
| SL-1064-100-160A | 160 | 25 | 139 | 100*100 | 27.5 |
| SL-1064-F160-30 | 160 | 22.5 | 125 | 90*90 | 17.5 |
| SL-1064-50-160 | 160 | 18 | 80 | 50*50 | 35.75 |
| SL-1064-110-160B | 160 | 28 | 156 | 110*110 | 21 |
| SL-1064-112-163A | 163 | 25 | 159 | 112*112 | 27.75 |
| SL-1064-112-163 | 163 | 25 | 158 | 112*112 | 31.5 |
| SL-1064-F201-30 | 201 | 19 | 170 | 90*90 | 10 |
| SL-1064-140-210 | 210 | 25 | 198 | 140*140 | 24.5 |
波長532nm
| Model | Lens mm |
Scanning Angle ±° |
Scanning Length mm |
Scanning Range mm |
Average Spot um |
|---|---|---|---|---|---|
| SL-532-60-100Q | 100 | 25 | 87 | 60*60 | 10 |
| SL-532-112-160Q | 160 | 29 | 160 | 112*112 | 18 |
| SL-532-155-250 | 250 | 25.5 | 220 | 155*155 | 14 |
| SL-532-F290-20 | 290 | 25.5 | 255 | 180*180 | 40 |
| SL-532-180-295A | 295 | 25 | 256 | 180*180 | 15.5 |
| SL-532-180-295 | 295 | 25 | 254 | 180*180 | 20.3 |
波長355nm
| Model | Lens mm |
Scanning Angle ±° |
Scanning Length mm |
Scanning Range mm |
Average Spot um |
|---|---|---|---|---|---|
| SL-355-60-100Q | 100 | 25 | 87 | 60*60 | 10 |
| SL-355-112-160Q | 160 | 29 | 160 | 112*112 | 18 |
| SL-355-155-250 | 250 | 25.5 | 220 | 155*155 | 14 |
| SL-355-F290-20 | 290 | 25.5 | 255 | 180*180 | 40 |
| SL-355-180-295A | 295 | 25 | 256 | 180*180 | 15.5 |
| SL-355-180-295 | 295 | 25 | 254 | 180*180 | 20.3 |
| SL-355-212-300 | 300 | 28.6 | 300 | 212*212 | 17.5 |
| SL-355-250-410 | 407.5 | 25 | 354 | 250*250 | 27.5 |
| SL-355-350-580 | 580 | 24.5 | 496 | 350*350 | 28.5 |
中国製ガルバノスキャナのインパクト
光響は、業界常識を覆した98万円のレーザーマーカーから、ベタ塗りのビーム掃引を要件とするレーザークリーナー、超5000万円のプライスタグとなるフェムト秒レーザー加工機まで、ガルバノスキャナーを搭載した自社製レーザー加工機をラインナップしている。
高速マーキングであればベクター速度、クリーニングであればラスター速度、そしてフェムト秒レーザー加工機では位置決め再現性が、各々の加工機パフォーマンスを支配する。
光響は、対日欧製ガルバノスキャナの比較を行った上で、中国製ガルバノスキャナを採用している。そして、1/3ほどの価格でガルバノスキャナを市場に供給している。
ここで、自社製フェムト秒レーザー加工機に搭載した中国製フルデジタルガルバノスキャナのフィールドパフォーマンスを紹介する。5×5=25pointの定点照射による位置決め再現性を表3に示す。表3を見ると、22point目を除き、照射位置の差分は、0または1μmと申し分のない結果となっていることが分かる。＜表3＞
高速マーキングであればベクター速度、クリーニングであればラスター速度、そしてフェムト秒レーザー加工機では位置決め再現性が、各々の加工機パフォーマンスを支配する。
光響は、対日欧製ガルバノスキャナの比較を行った上で、中国製ガルバノスキャナを採用している。そして、1/3ほどの価格でガルバノスキャナを市場に供給している。
ここで、自社製フェムト秒レーザー加工機に搭載した中国製フルデジタルガルバノスキャナのフィールドパフォーマンスを紹介する。5×5=25pointの定点照射による位置決め再現性を表3に示す。表3を見ると、22point目を除き、照射位置の差分は、0または1μmと申し分のない結果となっていることが分かる。＜表3＞
| ManMax offset | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| X | Y | X | Y | ||
| Min | Max | Min | Max | Max – Min | Max – Min |
| 16 | 16 | 3 | 4 | 0 | 1 |
| 5 | 5 | -2 | -1 | 0 | 1 |
| 2 | 2 | -1 | 1 | 0 | 2 |
| 4 | 5 | -3 | -3 | 1 | 0 |
| -5 | -5 | -1 | 0 | 0 | 1 |
| -1 | -1 | -5 | -4 | 0 | 1 |
| 3 | 4 | -2 | -1 | 1 | 1 |
| 3 | 3 | -2 | -1 | 0 | 1 |
| 3 | 3 | -3 | -2 | 0 | 1 |
| 11 | 12 | -1 | 0 | 1 | 1 |
| 8 | 8 | 0 | 1 | 0 | 1 |
| 6 | 6 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 0 | 0 | -1 | 0 | 0 | 1 |
| 5 | 5 | -1 | -1 | 0 | 0 |
| -5 | -5 | -4 | -3 | 0 | 1 |
| -1 | -1 | 5 | 6 | 0 | 1 |
| 7 | 8 | 1 | 2 | 1 | 1 |
| 0 | 0 | 3 | 4 | 0 | 1 |
| 2 | 2 | 2 | 3 | 0 | 1 |
| 7 | 7 | 4 | 5 | 0 | 1 |
| 10 | 11 | -3 | -2 | 1 | 1 |
| 0 | 0 | -4 | -2 | 0 | 2 |
| -1 | 0 | -3 | -2 | 1 | 1 |
| 7 | 8 | -4 | -3 | 1 | 1 |
| -5 | -5 | -6 | -5 | 0 | 1 |
また、自社製フェムト秒レーザー加工機による電池箔のスルーホール（パーカションモード）加工例を図7に示す。図7を見る限り、全く問題はなく、乱れ無い六方最密配列穴の電池箔が作成できていることが分かる。
本機は、３波長フェムト秒レーザー加工機につき、フルデジタルガルバノスキャナーもUV波長、グリーン波長、IR波長と波長ごとに３式搭載している。中国製ガルバノスキャナ３個が、欧米製ガルバノスキャナ1個分の価格で購入できるコストメリットは、非常に大きいと感じている。
本機は、３波長フェムト秒レーザー加工機につき、フルデジタルガルバノスキャナーもUV波長、グリーン波長、IR波長と波長ごとに３式搭載している。中国製ガルバノスキャナ３個が、欧米製ガルバノスキャナ1個分の価格で購入できるコストメリットは、非常に大きいと感じている。
図7 自社製フェムト秒レーザー加工機による電池箔のスルーホール（パーカションモード）加工例