自動ステージ
ステッピングモータ
X軸高剛性・精密型自動ステージ (OSMS-X)
詳細
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
モータをすっきりカバーリングし、CEに準拠した（OSMS33-800は除く）弊社のスタンダード自動ステージです。
アウターレールの特長を最大限に活かし、汎用性の高い35～800 mmの移動量に対応しています。
α軸ガイド一体型ゴニオステージ (OSMS-A)
詳細
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。
滑らかな移動が得られるため、頻繁に角度調整を必要とする箇所に最適です。
真空仕様自動ステージ / VSGSP26-200(X)
詳細
真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。
- 直動系は35～200mmのロングストロークを実現し、従来のSGSPシリーズと同様でコンパクト化を実現しました。
- MAXスピード 20 mm/sec
- 繰返し位置決め精度 10 μm
- ステージ材質 アルミ・ステンレス
- センサ品番 GN-PT5M3B-1（㈱メトロール）
- テーブル面サイズ 80×80 mm
- 分解能/（Full） 4 μm/パルス
- リミットセンサ 真空タッチセンサ（NORMAL CLOSE）
- ロストモーション 10 μm
- 移動ガイド アウターレール構造
- 移動量 200 mm
- 近接原点センサ 無
- 原点センサ 無
- 最小応答分解能（参考） 0.2 μm
- 質量 2.5 kg
- 送りネジ 精密研削ネジφ8 mm、 リード2 mm
- 耐荷重 58.8N（6.0 kgf）
- 表面処理 無
- 分解能/（Half） 2 μm/パルス
コントローラ/ドライバ
1軸ステージコントローラ / GSC-01
詳細
5相ステッピングモータドライバを内蔵した1軸のステージコントローラです。
- RS232Cインターフェイスによる外部制御と、フロントパネルのジョグスイッチ、外部I/Oによるジョグ駆動が可能です。
- コントローラ機能 有
- 質量 0.4 ㎏
- 消費電力 32 VA
- 円弧補間制御 無
- 外形寸法（W×H×D） 47×90×125 mm
- 駆動電流 0.3～0.8 A/相
- 周囲湿度 20～80％ RH（結露なきこと）
- 制御軸数 1軸
- 直線補間制御 無
- 電源電圧 DC24 V 1.3 A
- 動作温度 5～40℃
- 保存温度 ー20～60℃
3軸ステージコントローラ / HSC-103
詳細
自動ステージを低騒音・低振動で動作させることが可能です。（機種により異なります）
- パソコンからUSB通信(シリアル通信)でコントローラを制御することが可能です。
- 自動ステージを最大3軸まで同時に制御することが可能です。
- コントローラ機能 有
- 円弧補間制御 有
- 制御軸数 3軸
- 直線補間制御 有
パルスジェネレータコントローラ / PGC-04-U
詳細
各種モータドライバに接続できるパルスジェネレータタイプの4軸コントローラです。
- PGC-04-UはEthernet、USBインターフェイスによる制御が可能です。
- ハンディターミナル（JS-301、JB-401、JD-101）や4軸ジョグダイヤルコンソール（MD-400) により手動操作が可能です。
- コントローラ機能 有
- 円弧補間制御 なし
- 制御軸数 4軸
- 直線補間制御 有
高分解能フィードバックステージシステム
1nmフィードバックステージ (NFS-UPX)
詳細
CE・UKCAマーキングに対応した5相ステッピングモータ駆動ガラススケール内蔵の高分解能フィードバックステージです。光学式ガラススケールを内蔵し、高い位置再現性と高分解能を実現しました。
ボールねじ駆動のためピエゾステージよりも移動量が長く確保でき、さらに豊富な移動量とテーブルサイズから選定できます。
ユーザビリティー向上の観点からAutoconfigによるプラグインを実現しました。
フィードバックステージ (NFSシリーズ) 対応コントローラ (SHRC-203) をご用意しています。
分解能1nmタイプは、６種類のテーブル面サイズから選択ができます。
3軸ステージコントローラ / SHRC-203
詳細
オープンタイプの5相ステッピングモータ搭載の自動ステージから1nmナノステージまで幅広い分解能のステージを制御可能なコントローラです。
- 5相ステッピングモータ駆動用ドライバを内蔵した各軸独立で3軸フルクローズドループおよびオープンループ制御が可能なステージコントローラです。
- USB/GP-IB/Ethernetインターフェースによる外部制御、フロントパネルまたはハンディターミナル（JS-301、JB-401、JD-101、MD-400）による手動操作、8バンクの内蔵プログラムによる自動制御が可能です。
- ガラススケール内蔵ステージと組み合せフルクローズドループ制御が可能です。
10nmフィードバックステージ / FS-3200PX
詳細
10 nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。
このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め（位置再現性）、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、5種類をラインナップしています。移動量が大きいため、広範囲にデータを取得したい場合やサンプルの精密な位置決めと移動を1台のステージで行いたい場合に最適です。
- テーブル面サイズ 160×230 mm
- 走り平行度 10 μm（移動量100 mmあたりの走り平行度）
- 移動ガイド LMガイド
- 移動量 200 mm
- 繰返し位置決め精度※1 ±20 nm
- 最小分解能※1 10 nm
- 最大移動速度 20 mm/sec
- 質量 5.0㎏
- 送りネジ ボールねじ径φ10 mm、リード2 mm
- 耐荷重 196N(20 kgf)