VUV/UV狭帯域フィルター 120-320 nm
基板サイズ
- 0.5″ Dia. x 2 mm
- 1.0″ Dia. x 2.5 mm
- 2.0″ Dia. x 4 mm
基板仕様
- 外径公差: +0.00/-0.005インチ
- 厚さ公差: +/-0.25 mm
- 面精度: <2波長 (632.8 nm)
- 平行度: <3 arc min
- スクラッチ/ディグ: 20-10
- 面取り: 0.3～0.5 mm x 45度
- 有効径: 中心部 85%
Pelham Research Optical (PRO) 社の標準VUV-UV狭帯域（NB）光学フィルターは、波長にもよりますが、典型的な帯域幅（半値幅：FWHM）が約20 nm、最小透過率が15%となっています。可視光域の遮断性能（リジェクション）は、標準で10⁻⁴です。コーティング加工は、お客様から支給された基板への施工に加え、図面に基づいた完全な製品（完成品）としての製造も承っております。
122 nm～161 nmの狭帯域フィルターは、高純度VUVグレードのMgF₂（フッ化マグネシウム）、CaF₂（フッ化カルシウム）、および人工石英基板を用いて製造されます。170 nm～320 nmのフィルターはUVグレードの合成石英を用いて製造され、保護強化のためにカバーおよびエッジシールを施すことも可能です。詳細については、カバーおよびエッジシールに関するデータシートをご参照ください。
VUV-UV狭帯域フィルターの主な用途
天文学、分析・バイオテクノロジー機器、元素分析、環境モニタリング、フィルター式分光法など。
仕様表
リンクのついた波長をクリックすると、曲線が表示されます。
| ピーク波長 (nm) | FWHM (nm) | 最小ピーク（%T） | 0.5″ Dia. | 1.0″ Dia. | 2.0″ Dia. |
|---|---|---|---|---|---|
| 122 +/- 2.5 Lyman Alpha | ~10 | 5 | 122-NBX-.5D | 122-NBX-1D | 122-NBX-2D |
| 122 +/- 2.5 Lyman Alpha | ~15 | 15 | 122-NBV-.5D | 122-NBV-1D | 122-NBV-2D |
| 122 +/- 2.5 Lyman Alpha | ~20 | 15 | 122-NB-.5D | 122-NB-1D | 122-NB-2D |
| 125 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 125-NB-.5D | 125-NB-1D | 125-NB-2D |
| 130 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 130-NB-.5D | 130-NB-1D | 130-NB-2D |
| 135 +/- 2.5 | 20 +/- 7.5 | 15 | 135-NB-.5D | 135-NB-1D | 135-NB-2D |
| 140 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 140-NB-.5D | 140-NB-1D | 140-NB-2D |
| 147 +/- 2.5 | 20 +/- 7.5 | 15 | 147-NB-.5D | 147-NB-1D | 147-NB-2D |
| 150 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 150-NB-.5D | 150-NB-1D | 150-NB-2D |
| 155 +/- 2.5 C IV | 20 +/- 5 | 12 | 155-NB-.5D | 155-NB-1D | 155-NB-2D |
| 158 +/- 2.5 F Laser | 20 +/- 5 | 12 | 158-NB-.5D | 158-NB-1D | 158-NB-2D |
| 160 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 12 | 160-NB-.5D | 160-NB-1D | 160-NB-2D |
| 161 +/- 2.5 | 20 +/- 7.5 | 12 | 161-NB-.5D | 161-NB-1D | 161-NB-2D |
| 170 +/- 2.5 | 20 +/- 7.5 | 15 | 170-NB-.5D | 170-NB-1D | 170-NB-2D |
| 172 +/- 2.5 Xe Laser | 20 +/- 7.5 | 15 | 172-NB-.5D | 172-NB-1D | 172-NB-2D |
| 180 +/- 2.5 | 20 +/- 7.5 | 15 | 180-NB-.5D | 180-NB-1D | 180-NB-2D |
| 184.9 +/- 2.5 Hg | 20 +/- 7.5 | 15 | 185-NB-.5D | 185-NB-1D | 185-NB-2D |
| 190 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 190-NB-.5D | 190-NB-1D | 190-NB-2D |
| 193 +/- 2.5 ArF Laser | 20 +/- 5 | 15 | 193-NB-.5D | 193-NB-1D | 193-NB-2D |
| 200 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 200-NB-.5D | 200-NB-1D | 200-NB-2D |
| 205 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 205-NB-.5D | 205-NB-1D | 205-NB-2D |
| 210 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 210-NB-.5D | 210-NB-1D | 210-NB-2D |
| 214 +/- 2.5 Zn | 20 +/- 5 | 15 | 214-NB-.5D | 214-NB-1D | 214-NB-2D |
| 220 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 220-NB-.5D | 220-NB-1D | 220-NB-2D |
| 222 +/- 2.5 KrCl Laser | 20 +/- 5 | 15 | 222-NB-.5D | 222-NB-1D | 222-NB-2D |
| 230 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 230-NB-.5D | 230-NB-1D | 230-NB-2D |
| 240 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 240-NB-.5D | 240-NB-1D | 240-NB-2D |
| 248 +/- 2.5 KrF Laser | 20 +/- 5 | 15 | 248-NB-.5D | 248-NB-1D | 248-NB-2D |
| 250 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 250-NB-.5D | 250-NB-1D | 250-NB-2D |
| 253.7 +/- 2.5 Hg | 20 +/- 5 | 15 | 253.7-NB-.5D | 253.7-NB-1D | 253.7-NB-2D |
| 260 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 260-NB-.5D | 260-NB-1D | 260-NB-2D |
| 265 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 265-NB-.5D | 265-NB-1D | 265-NB-2D |
| 266 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 266-NB-.5D | 266-NB-1D | 266-NB-2D |
| 270 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 270-NB-.5D | 270-NB-1D | 270-NB-2D |
| 280 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 280-NB-.5D | 280-NB-1D | 280-NB-2D |
| 282 +/- 2.5 XeBr Laser | 20 +/- 5 | 15 | 282-NB-.5D | 282-NB-1D | 282-NB-2D |
| 290 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | 290-NB-.5D | 290-NB-1D | 290-NB-2D |
| 296.7 +/- 2.5 Hg | 20 +/- 5 | 15 | 296.7-NB-.5D | 296.7-NB-1D | 296.7-NB-2D |
| 300 +/- 2.5 | 20 +/- 7.5 | 15 | 300-NB-.5D | 300-NB-1D | 300-NB-2D |
| 308 +/- 2.5 XeCl Laser | 20 +/- 7.5 | 15 | 308-NB-.5D | 308-NB-1D | 308-NB-2D |
| 310 +/- 2.5 | 20 +/- 7.5 | 15 | 310-NB-.5D | 310-NB-1D | 310-NB-2D |
| 313 +/- 2.5 | 20 +/- 7.5 | 15 | 313-NB-.5D | 313-NB-1D | 313-NB-2D |
| 320 +/- 2.5 | 20 +/- 7.5 | 15 | 320-NB-.5D | 320-NB-1D | 320-NB-2D |
Pelham Research Optical社のすべてのフィルターには、VUV～UV領域における分光特性を詳述した、個別のVUV-UV透過率（%）校正曲線が付属しています。
分析用およびレーザーライン用ナローバンドフィルターのラインナップには、122 nm（ライマン線）、155 nm（C IV線）、158 nm（F線）、172 nm（Xe線）、184.9 nm（Hg線）、193 nm（ArFレーザー線）、214 nm（Zn線）、222 nm（KrClレーザー線）、248 nm（KrFレーザー線）、253.7 nm（Hg線）、282 nm（XeBrレーザー線）、296.7 nm（Hg線）、および313 nm（Hg線）が含まれます。