共振スキャナー
共振型光スキャナーは、電気機械的に駆動され、正弦波状の動きで光ビームを精密に偏向させる振動デバイスです。動作周波数は固定されていますが、走査振幅は制御可能であり、極めて高い再現性と高速なビーム操作を実現します。本スキャナーは軸受や潤滑剤を必要としない構造のため、優れた安定性、低消費電力、長寿命、そして高い信頼性を備えています。
SC-2
ピコ共振スキャナー
- 100 Hz～1 kHzの範囲で固定された単一の動作周波数
- スキャン角度：最大50°（光学的 peak-to-peak）
- ミラーサイズ：最大10×6 mm
- 垂直または水平方向への取り付けが可能
- 小型・軽量
- 低消費電力の駆動回路
- 堅牢な構造（摩耗部品なし）
- メンテナンスフリー
- 高信頼性
- 耐衝撃・耐振動性
- 高い周波数安定性（最大0.05%）
- 高温・低温環境下での動作 1
- 真空環境下での動作（最大10-10 Torr） 1
- ジッターのない動作
- 電磁干渉（EMI）の放射なし
- ミラー位置出力機能あり
- 強化アルミニウムコーティングを施したガラスミラーが標準仕様（IRおよびUV用コーティングはオプション） 1
1 特別注文にて承ります
製品説明
SC-2型ミニ・サブミニチュア固定周波数共振型光スキャナは、現在入手可能な機械式スキャナの中で最小クラスの製品です。本機は電磁駆動式の可動ミラーデバイスであり、連続的な正弦波運動によって光ビームを偏向させます。ミラーアセンブリは、張力をかけた帯状バネ（タウトバンド・スプリング）の中央に取り付けられています。SC-2型スキャナの走査周波数範囲は100 Hz ～ 1000 Hzで、この範囲内の任意の1つの値に固定されます。走査角は周波数に反比例し、ミラーサイズに依存します。標準動作温度範囲は0°C～+55°Cですが、ご要望に応じて他の温度範囲や真空環境での動作にも対応可能です。
高いQ値により、周波数安定性と低い電気駆動電力が確保されています。高い曲げ剛性により、衝撃や振動に対する優れた耐性を備えるほか、ウォブル（揺らぎ）が少なく、走査の再現性にも優れています。固有周波数で共振するため、歪みを最小限に抑えた高品質な画像取得が求められる多種多様な用途において、長寿命な動作を実現する最適なデバイスとなります。特に、大量生産される産業用OEM機器への組み込みに適しています。SC-2型スキャナは、極めて小型のシステムや携帯型機器にも容易に組み込むことができます。
共振周波数での動作は、正帰還アンプ方式のEDドライバまたはAGCドライバによって維持されます。AGCドライバを使用すると、より高い振幅安定性（0.01%）と位置出力信号が得られます。
主な用途：共振器内Qスイッチ、共焦点顕微鏡、癌診断、眼科用画像診断、補償光学、光干渉断層撮影（OCT）、X線技術、DNAシーケンシング、脳画像診断、認知機能検出、歯科、皮膚科、発生生物学、非破壊検査（NDE/NDT）、腫瘍学、光干渉顕微鏡（OCM）による高解像度イメージング、レーザースキャナ、画像・パターン形成および認識、プリンタ、生体医用イメージング、品質検査、蛍光顕微鏡、半導体イメージング、ウェブ検査、プロセス検証、マスク検査、マシンビジョンなど。
100 Hz ～ 1000 Hzの範囲から任意の固定周波数を1つ選択します。以下の情報はあくまで目安としてご利用ください。
| スキャン角度(P-P deg opt) | ミラーサイズ (mm) | FREQ. (Hz +/-10%) | |
|---|---|---|---|
| SC-2-2 | 50° | 6 dia | 230 |
| SC-2-2 | 50° | 7×6 | 200 |
| SC-2-2 | 50° | 10×6 | 125 |
| SC-2-3 | 40° | 6 dia | 360 |
| SC-2-3 | 40° | 7×6 | 300 |
| SC-2-3 | 40° | 10×6 | 200 |
| SC-2-4 | 30° | 6 dia | 550 |
| SC-2-4 | 30° | 7×6 | 450 |
| SC-2-4 | 30° | 10×6 | 275 |
| SC-2-5 | 20° | 6 dia | 800 |
| SC-2-5 | 20° | 7×6 | 650 |
| SC-2-5 | 20° | 10×6 | 385 |
仕様
電気的特性
- 駆動コイル抵抗: 950 Ω
- 検出コイル抵抗: 950 Ω
- ケーブル長: 8インチ
- コネクタ: 4ピン・メスプラグ（ピッチ0.1インチ）、Molex製 P/N 22-01-3047 または同等品
- 走査周波数範囲: 100 Hz ～ 1000 Hz
- 周波数精度: ±10%（25°C時）、より高い精度も要望に応じて対応可能
- 走査角：周波数およびミラーサイズに応じて、最大50°（光学的 peak to pea）まで/li>
ミラー
- サイズ：直径6 mm、7×6 mm、10×6 mm
- 厚さ：標準1.0 mm（その他の厚さも対応可能）
- 平面度：1/4波長（6 mmおよび7×6 mmミラー）、1/2波長（10×6 mmミラー）
- 表面品質（スクラッチ・ディグ）：60-40
注文情報
タイプ [SC-2]；ミラーサイズ [mm]；角度 [P-P Deg. optical]；周波数 [Hz]
例：型番 SC2-2-7×6-50-200。この型番は、SC-2スキャナー、7 mm x 6 mmのミラー、光学走査角度50°（peak to peak）、動作周波数200 Hzを示しています。