フェムト秒レーザー（超短パルスレーザー）は照射箇所のみを分子乖離・コールドアブレーションさせることができるため微細加工に適しています。
このページでは自社 超高精密フェムト秒レーザー加工機にて行った 微細穴加工 の加工結果を掲載しています。
- 目的：素材に対し 35μm の 微細穴 を 千鳥格子パターンで 10個 × 10個 = 計100個 をレーザーにて掘削
- 素材：ポリイミドフィルム、t = 50μm (0.05mm)
- 方法：UVレーザーにて穴サイズ 35μm、ピッチ 40μm 及び 45μm で穴あけ加工。
- 結果：35μm の穴を 38μm 及び 43μm の間隔で掘削
【加工動画】
※UVレーザーで実施
【加工結果】
カメラ撮影画像<クリックで拡大表示>
顕微鏡画像（ピッチ40μm）<クリックで拡大表示（各種データ付き）>
顕微鏡画像（ピッチ45μm）<クリックで拡大表示（各種データ付き）>
【フェムト秒レーザーとナノ秒レーザーの比較資料】
フェムト秒レーザー(精密加工機)とナノ秒レーザー(マーカー)を使用して
ポリイミドフィルムにそれぞれ加工してその違いをまとめました。
＜加工した材料＞
ポリイミドフィルムHJA（品番：3-8012-02）
厚さ：50 μm
＜加工内容＞
微小穴加工、切断加工、ザグリ加工
【ポリイミドフィルム 微小穴加工】
フェムト秒レーザーの方が、品質良く加工できている。ナノ秒レーザーの方が材料に対して熱影響が大きいため、穴形状が歪みやすい。
フェムト秒レーザーは穴同士近づけても、壁をミクロン単位まで狭くできる。（画像は6 μmくらい）
→熱の影響が少ないため、壁部分が保たれる。
【ポリイミドフィルム 微小穴加工 サイズ】
フェムト秒レーザーだと穴同士の厚みが壁を狭くできる。（穴直径：47.4 μm 壁：約6 μm）
（穴直径：長手 60.6 μm、短手 46.8 μm）
【ポリイミドフィルム 切断加工 洗浄前】
どちらも切断可能。洗浄前は、フェムト秒レーザーの方がポリイミドフィルムに対して影響は少ないです。
※加工線の幅は加工ではなく、切断によりフィルムの伸縮で広くなっています。(倍率は同じ)
【ポリイミドフィルム 切断加工 洗浄後】
フェムト秒レーザーとナノ秒レーザーを比較すると洗浄後に大きく違いはないです。フェムト秒レーザーは洗浄前と洗浄後の違いがあまりない。
→炭化が少ないので、フェムト秒レーザーだと洗浄不要。
【ポリイミドフィルム_ザグリ加工 四角 1 mm角】
どちらもザグリ加工が可能。
ナノ秒レーザーの方に若干焦げ（炭化）がみられる(①)。そのため、フェムト秒レーザーの方がポリイミドフィルムに対して熱影響が少ないです。
-Femto-pro-
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