垂直ポジショナー
型番:KSMV
| 型番 | KSMV6A-40Z | KSMV13A-65Z | KSMV10A-90C |
| 移動幅(mm) | 6 | 13 | 10 |
| ガイド | クロスローラーガイド式ベアリング | ||
| 感度(μm) | 2 | ||
| テーブルサイズ(mm) | 40×40 | 65×65 | 90×90 |
| 駆動方式 | マイクロメーター | ||
| 耐荷重(Kg) | 2 | 3 | 4 |
| 重量(Kg) | 0.14 | 0.44 | 1.04 |
高精度ボールベアリング垂直ステージ(移動量4 mm/8 mm)
型番:PSMV4-45C /PSMV8-65C
| 型番 | PSMV4-45C | PSMV8-65C |
| 材質 | アルミ合金 | アルミ合金 |
| 移動幅(mm) | 4 | 8 |
| 感度 (mm) | <0.003 | <0.003 |
| テーブルサイズ (mm) | 45×45 | 65×65 |
| 駆動方式 | ねじ | ねじ |
| 耐荷重 (Kg) | 3 | 5 |