イメージングアレイ

イメージングアレイ

検出器の開発と電子回路技術における近年の進歩により、同一ウェハ上に複数の検出器を配置することが可能になりました。これにより、画像生成に使用できる検出器アレイの製造が可能になります。

イメージングアレイは、用途によってはシングルピクセルアレイに比べて複数の利点を持つ可能性があります:

  • これらは複数の周波数を同時に検出できるため、従来の分光計(非FTS)と比較して取得時間を大幅に短縮できます。
  • 光学系と組み合わせることで、テラヘルツフォトグラフィーも可能です。
  • ビームの形状やサイズを観測できます。
  • 複数の周波数と偏光を同時に画像化できます。

QMC Instrumentsが製造できるアレイには主に2種類あり、どちらも異なるタイプの検出器、すなわち遷移端センサ(TES)ボロメータと運動インダクタンス検出器(KID)に基づいています。

TESアレイ

TESアレイ
TESボロメータアレイは、単一のTESと同様の利点をすべて備えており、おおよそのスペクトル範囲(100 GHz~30 THz)を持ち、4K付近で同様の周波数範囲と速度(数ミリ秒)で動作します。QMC Instrumentsの403ドライシステムやウェットシステムと同様のパルスチューブクーラーに容易に組み込むことができます。また、QMC InstrumentsのWinstonコーンとも互換性があり、各TES素子に1つのWinstonコーンを使用します。写真は、カスタム設計された開口部を備え、ドライシステムのコールドプレートに取り付けられた完成したアレイを示しています。