石英パーツ
レーザー機器用穴付き 精密UV溶融石英ガラス加工プレート

- 材質:UV溶融石英ガラス
- 表面処理:研磨または研削
- 作業温度:1100度
- 用途:レーザー機器
フランジ溶接付き プロフェッショナルカスタム高温耐性 石英ガラスチューブ

- 材質:高純度溶融石英
- 表面処理:研磨または研削
- 作業温度:1100度
- 形状:カスタムメイド
仕様
材質 | 高純度溶融石英 |
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加工サービス | 曲げ、溶接、打ち抜き、切断、研磨 |
密度 | 2.2 g/cm3 |
使用温度 | 1150℃ |
融点 | 1750~1850℃ |
サイズ | カスタマイズ |
用途 | 半導体、光学 |
半導体ウェーハ製造装置向け CNC高精度溶融石英パーツ

- 材質:高純度溶融石英
- 使用温度:1100℃
- 直径:お客様設計
- 用途:半導体ウェーハ製造装置
説明
ウェーハ製造装置(半導体ウェーハ製造装置)における石英ガラス部品および溶融石英部品は、高純度、耐高温性、耐腐食性、低熱膨張係数、高い光透過率といった優れた特性により、様々な重要なプロセス工程において中核部品として使用されています。これらの部品は、エッチングガスやプラズマの影響に耐え、構造安定性と化学的特性を維持し、エッチングプロセスの精度と再現性を確保する必要があります。
石英パーツの特性
- 耐高温性。
- 優れた化学的安定性、耐酸性、耐アルカリ性。
- 低い熱膨張係数。
- 高い透過率。