ミラーマウント

ミラーマウント / MM1000S_R_M

ミラーマウント / MM1000S_R_M
2015年産業「貢献賞」受賞

MM1000Sは東京大学古澤明研究室と玉川大学政田元太准教授と共同開発を行ない、32個もの数量で構成された大規模干渉計での評価テストで比類のない操作性と驚異的な長期安定性(ビジビリティが99%を1週間以上維持)を実現致しました。これは独自に開発した新機構「M-Ring」(特許第4963071号:古澤明教授・政田元太准教授・FMDの三者共同出願)によりバックラッチレスを実現したことと、従来に無かった0.15 mmピッチの微細、且つ殆ど遊びの無い超精密ネジの製造方法を確立したことに依ります。その結果、コンパクトなデザインで、尚且つ微調整が可能と言う、二つの背反する機能を有し、比類のない操作性と驚異的な長期安定性をもつミラーマウントを実現致しました。

評価データ
評価データ
設計図
設計図

背面

背面

32個干渉計

32個干渉計

仕様・特徴

素材 超々ジュラルミン
表面処理 アルマイト(梨地染色/FMD Blue)
最大厚さ 37.5 mm 以下(標準調整位置 ※印1.3 mm にて)
質量 約88g(但し、ミラー重量を除きます)
ミラーサイズ φ1”、厚み=3~9.5 mm 程度
本体固定 下からM6ネジ1本で固定(ペデスタルポストへの取付が容易)
調整ネジ ピッチ0.15 mm、三点独立調整型
三点の調整ネジを同量移動させる事によって反射面の位置を変えることが可能です
調整角度
(あおり・回転方向)
±3°
但し、調整角度は標準調整位置(*印1.3 mm)での片軸ずつの最大値とする
分解能 0.00125°( = 0.45°/ 360°、22μrad)
1°回転させたときの変位量(角度)で1回転させると0.45°変位します
その他
  • 透過で使用可能です(片方向のみ)
    直進:φ11.6°
    45°透過:φ8.4( 図示:ビームスプリッタの厚みが5 mm の時の最大値 )
  • 鏡対象モデルもあります(MM1000S_L_M)
  • 底面にはペデスタルポストへの固定用M6TAP穴(有効深さ10 mm)を設けて居ります
  • 全ての製品にレーザ干渉計による評価データを添付致します
  • あおり方向と回転方向に装着されているφ12穴付ノブは特殊工具(SCR-ADJ)を使用することにより、バックラッシの少ない極めて微細な調整を行なうことが可能になります
  • M-Ring搭載(特許第4963071号)
  • ソフトロック機構搭載(特願2005-352867)

1インチ ミラーマウント / MH100IH_254

1インチ ミラーマウント

MH100IH_254はMM1000Sの物づくりのノウハウを基に開発されたミラーサイズ1インチのミラーマウントです。プロトタイプの評価データ(当社出荷データ測定用干渉計で測定した参考データ)にも表れているように、Visibilityも非常に安定しています。取付面を変えることにより透過方向も1つの部品で左右両方向使用可能です。外形サイズもコンパクトなので余分なスペースも取らないユースフルなミラーマウントです。また、調整ネジもMM1000Sと同様にピッチ0.15 mm の超精密ネジを搭載しており、下記写真の様にオーバーノブを装着することにより更に微調整を行うことが可能となっています。

評価データ
評価データ
設計図
設計図

背面

背面

オーバーノブ装着

オーバーノブ装着
小型タイプ OVK_18

オーバーノブ装着

オーバーノブ装着
小型タイプ 大型タイプ OVK_29

ノブ無しタイプ

ノブ無しタイプ MH100IH_254HW背面

真空用

真空用 MH100IH_254V正面

真空用

真空用 MH100IH_254V背面

仕様・特徴

素材 超々ジュラルミン
表面処理 梨地グレーアルマイト
最大厚さ 34.8 mm (標準調整位置*印1.9 mm にて)
質量 約85g(但し、ミラー重量を除きます。)
ミラーサイズ φ1”、厚み=5~9.5 mm
本体固定 M4X(15)六角穴付ボルト(1本)
調整ネジ ネジピッチ0.15 mm、三点独立調整可能
調整角度 ±3°(回転・あおり方向)
但し、調整角度は標準調整位置(*印1.9 mm)での片軸ずつの最大値とする
分解能 0.000823°(0.2963°/360°、14.4μrad)
1°回転したときの変位量(傾斜角度)で1回転で0.2963°変位します
その他
  • 透過で使用可能です
    直進:φ24 ( Clear Aperture)
    45°透過:φ14.7( 図示:ビームスプリッタの厚みが5 mmの時の最大値 )
  • ミラー固定用ネジは接触面が樹脂製(POM)なので、ミラーにダメージを与えること無く固定することが出来ます
  • ソフトロック機構搭載(特願2005-352867)
  • 専用工具(SCR-ADJ)又は六角レンチで調整を行なうノブ無しモデル(MH100IH_254HW)もございます
    (写真「ノブ無しタイプMH100IH_254HW背面」をご参照願います)
  • 真空用(10-6Torr (1.33-4Pa))もオプション対応可能です
    (外観は実装例写真のように真空仕様のアルマイト処理または無電解Niメッキ処理とし、仕様詳細につきましてはお問い合わせ下さい)

1/2インチ ミラーマウント / MH050IH_127R

1/2インチ ミラーマウント

MH050IH_127R(またはMH050IH_127L)はMM1000Sの物づくりのノウハウを基に開発されたミラーサイズ1/2インチ用のミラーマウントです。プロトタイプの評価データ(当社出荷データ測定用干渉計で測定した参考データ)にも表れているように、Visibilityは非常に安定しています。外形サイズもコンパクトなので余分なスペースも取らないユースフルなミラーマウントです。45°透過も可能で、左右方向どちらか一方ですが、両タイプご用意がございます。調整ネジもMM1000Sと同様にピッチ0.15 mm の超精密ネジを搭載しております

評価データ
評価データ
設計図
設計図

背面

専用ツール:SCR_ADJ

仕様・特徴

素材 超々ジュラルミン
表面処理 アルマイト(梨地/グレー)
最大厚さ 28.1 mm (標準調整位置*印1.3 mm にて)
質量 約49g(但し、ミラー等付属品重量を除く)
ミラーサイズ φ1/2”、厚み=3~6.35 mm 程度
固定ネジ M4X10六角穴付ボルト(上から1本で固定)
調整ネジ ネジピッチ0.15 mm、三点独立調整可能
調整角度 ±3°
但し、調整角度は標準調整位置(*印1.3 mm)での片軸ずつの最大値とする
分解能
(回転方向)
0.00125°(=0.45°/360°、22μrad)
1°回転したときの変位量(角度)で1回転で0.45°移動します
分解能
(あおり方向)
0.00134°(=0.48°/360°、23.6μrad)
1°回転したときの変位量(傾斜角度)で1回転で0.48°移動します
その他
  • 透過で使用可能です(片方向のみ)
    直進:φ11.2
    45°透過:φ6( 図示:ビームスプリッタの厚みが3 mm の時の最大値 )
  • 鏡対象モデルのMH050IH_127Lもあります。
  • 回転方向と煽り方向の調整ネジは特殊工具(SCR-ADJ)を使用するとバックラッシの少ない極めて微細な調整が行えます。
  • ソフトロック機構搭載(特願2005-352867)

2インチ ミラーマウント / MH200IH_381

2インチ ミラーマウント

MH200IH_381はMM1000Sの物づくりのノウハウを基に開発された2インチ用のミラーマウントです。プロトタイプの評価データ(当社出荷データ測定用干渉計で測定した参考データ)にも表れているように、Visibilityは非常に安定しています。片側の透過光サイズは小さくなりますが、45°左右両方向同時透過も可能です。調整ネジもMM1000Sと同様にピッチ0.15 mm の超精密ネジを搭載しております。

評価データ
評価データ
設計図
設計図

背面

ノブ無しタイプ:MH200IH_381HW

仕様・特徴

素材 超々ジュラルミン
表面処理 梨地グレーアルマイト
最大厚さ 39.8 mm (標準調整位置*印3.2 mm にて)
質量 167g(但し、ミラー重量を除きます。)
ミラーサイズ φ2”、厚み=5~9.5 mm 程度
固定ネジ M4X15六角穴付ボルト(1本)
調整ネジ ネジピッチ0.15 mm (170TPI)、三点独立調整方式
調整角度 ±3°(回転・あおり方向)
但し、調整角度は標準調整位置(*印寸法3.2)での片軸ずつの最大値とする
分解能 (回転方向) 0.000477°(8.3μrad)
1°回転したときの変位量(傾斜角度)で1回転で0.172°変位します
その他
  • 透過で使用可能です
    直進:φ48 (Clear Aperture)
    45°透過:φ31, φ16左右両方向同時透過 (図示:ビームスプリッタの厚みが8 mm の時の最大値)
  • 取付面を90°変えて固定すれば透過の方向を逆に出来ます。
  • 専用工具(SCR-ADJ)及び六角レンチで調整を行なうノブ無しモデル(MH200IH_381HW)のご用意もあります(写真「ノブ無しタイプ:MH200IH_381HW」をご参照願います)
  • 真空用もオプション対応可能です
    (仕様詳細につきましてはお問い合わせ下さい)
  • ソフトロック機構搭載(特願2005-352867)

1インチミラーマウント(モータードライブ型) / MH100IH_MDRV

1インチミラーマウント(モータードライブ型)

MH100IH_MDRV は回転方向とあおり方向をDCギアドモータにより遠隔操作が可能な1インチ用ミラーマウントです。専用コントローラの速度調整用ボリュームを低速側に調整すれば干渉計のVisibility調整も可能です。調整完了後は特殊メカニズムにより位置が狂うことなく保持されますのでプロトタイプの評価データ(当社出荷データ測定用干渉計で測定した参考データ)にも表れているように、Visibility は非常に安定しています。取付面を変えることにより透過方向も1つの部品で左右両方向使用可能です。外形サイズも従来のモータドライブ付ミラーマウントより非常にコンパクトなので(下記図面にモータは2軸共含まれます)余分なスペースも取らないユースフルなミラーマウントです。

評価データ
評価データ
設計図
設計図
専用コントローラー図
専用コントローラー図

背面

背面

専用コントローラ(MDRV_CNT)と本体

専用コントローラ(MDRV_CNT)と本体

仕様・特徴

素材 超々ジュラルミン
表面処理 梨地グレーアルマイト
外形寸法 幅47 × 高47 × 奥行41.8 (mm)
(*1.3/標準調整位置、中継基板・ケーブルAssy除く)
質量 約166g(中継基板及びケーブルAssy含みミラー重量は除く)
ミラーサイズ φ1″、厚み=5~9.5 mm
本体固定 M4X15六角穴付ボルト(1本)
調整ネジ ネジピッチ0.15 mm、三点独立調整可能
(回転方向とあおり方向の2軸はモータドライブ方式)
分解能 0.000823°(0.2963°/360°、14.4μrad)
1°回転したときの変位量(角度)で1回転させると0.2963°変位します
モータはDCギアドモータを使用しているので、低い電圧を短時間印可す ることでより微調整が行えます
その他
  • 透過で使用可能です
    直進:φ24 ( Clear Aperture)
    45°透過:ミラー厚6.35時約φ14
  • コントローラにはACアダプタ(GOFORWARD社製GF12-US0618相当品)が付属しています
  • 本体とコントローラ間のケーブル長は約450 mm です
  • コネクタはD-Sub9ピン(オス)なので、両端にD-Sub9ピン(メス/オス)ケーブルをご用意頂ければ延長することも可能です
  • 調整後電源を切っても調整位置は変わらないので、コントローラからコネクタを外して別のミラーマウント(MH100IH_MDRV)を接続して調整 することも可能です
  • コントローラ背面パネルの「OUT」は外部出力用の予備で仕様詳細につきましてはお問い合わせ下さい