周波数安定化 He-Neレーザー|日本マイクロ光器株式会社
独自の安定化技術により、10⁻¹¹の周波数安定性と1 mあたり0.01 nmの計測誤差を実現した 周波数安定化 He-Neレーザー(波長 632.816 nm)です。
スマートフォン・車載カメラ向けレンズ計測、半導体ウェハーの平坦度測定、フォトマスク・露光装置用ステッパーの複屈折計測などの測定装置に搭載されるレーザー光源として、国内外の装置メーカーへ量産対応を行っており、シリーズ累計1,000台超の納品実績です。
用途・精度に応じた3種類のラインナップを用意しています。

製品一覧
製品 | 型番 | 特徴 |
---|---|---|
![]() |
YS-307 | 「周波数引き寄せ現象」を利用し、10-11の超高周波数安定性とシングルモード3 mWの高出力を同時に実現しました。高出力により多軸・高速の干渉計測に適しています。Ne利得曲線中央にモードをロックすることで高出力に加えて再起動時の高い周波数再現性も実現しています。 |
![]() |
QQD | 横磁場で生成された直交2周波の差周波を安定化したゼーマンレーザー。直交2周波出力でヘテロダイン干渉計を容易に構成可能です。 |
![]() |
QS | 2つの発振モードのパワー比を安定化し、シングルモードでも2モードでも出力可能です。ナノメートル精度の干渉計光源として最適です。 |