周波数安定化 He-Neレーザー|日本マイクロ光器株式会社

独自の安定化技術により、10-11の周波数安定性と1 mあたり0.01 nmの計測誤差を実現した 周波数安定化 He-Neレーザー(波長 632.816 nm)です。

スマートフォン・車載カメラ用レンズの形状測定、半導体材料等の平坦度測定、ガラス基板の複屈折計測などの測定装置に搭載されるレーザー光源として、国内外の装置メーカーへ量産対応を行っており、シリーズ累計2,000台超の納品実績です。

用途・精度に応じた3種類のラインナップを用意しています。

周波数安定化 He-Neレーザー YS-307

周波数安定化He-Neレーザーの概要・特徴

He-Neレーザー(ヘリウムネオンレーザー)はヘリウムとネオンの混合気体を媒質としたレーザーです。非常に上質なビームを持ち、コヒーレンシー(可干渉性)に優れ、使いやすいという特長があります。

特に周波数を安定化したものは、計量トレーサビリティ体系の長さ基準として取り扱われており、ナノ〜サブナノメートルレベルの測長、精密干渉計測などの用途で必須となっています。

【参考(外部リンク)】JCSSトレーサビリティ体系:長さの例

産業技術総合研究所(産総研)の光周波数コムを頂点に、常用参照標準として周波数安定化He-Neレーザーが位置付けられています

周波数安定化He-Neレーザー 製品一覧

製品 型番 特徴
YS-307 「周波数引き寄せ現象」を利用し、10-11の超高周波数安定性とシングルモード3 mWの高出力を同時に実現しました。高出力により多軸・高速の干渉計測に適しています。Ne利得曲線中央にモードをロックすることで高出力に加えて再起動時の高い周波数再現性も実現しています。
QQD 横磁場で生成された直交2周波の差周波を安定化したゼーマンレーザー。直交2周波出力でヘテロダイン干渉計を容易に構成可能です。
QS 2つの発振モードのパワー比を安定化し、シングルモードでも2モードでも出力可能です。ナノメートル精度の干渉計光源として最適です。

周波数安定化方法

周波数安定化 He-Neレーザー 周波数安定化方法

【解説】周波数引き寄せ現象とは?

周波数安定化He-Neレーザー導入事例

事例①:三次元測定機への搭載

導入先: 大手精密計測装置メーカー

用途: ナノメートル精度の三次元形状・粗さ測定を実現する非接触型の干渉測定ユニットに、当社He-Neレーザー(「QS」ベースモデル)が採用されています。


事例②:平坦度測定装置への採用

導入先: 大手半導体装置メーカー

用途: 半導体材料の平坦度をナノ精度で計測する平坦度・形状測定ユニットに、当社He‑Neレーザー(「YS-307」)が導入されています。


事例③:複屈折測定装置への採用

導入先: 国内光学機器メーカー

用途: ガラス基板の複屈折測定に用いる計測装置に、当社He‑Neレーザー(「QQD」)が搭載されています。