量子コンピュータ・次世代半導体の精密微細加工を革新「ホログラフィックフェムト秒レーザー加工機 Femto-pro-HGS」発売

株式会社光響は、超高精密フェムト秒レーザー加工機にホログラフィック光学技術を搭載した拡張モデル「ホログラフィックフェムト秒レーザー加工機Femto-pro-HGS」を発売いたしました。

「Femto-pro-HGS」は、従来モデル「Femto-pro」をベースに、収差補正による高精度集光や多点同時加工、透明材料内部の三次元加工、精密微細加工、高精度ステージと連動したパルスオンデマンド制御による安定した等ピッチ加工といった機能を搭載した拡張モデルです。光で３次元の物体を表現するホログラフィ技術を用いることで、光エネルギーを効率的に活用しながらビームを成形し、加工の高精度・高速化を実現します。

さらに、「Femto-pro-HGS」に搭載している当社製計算機合成ホログラムソフト（CGHソフト）「HologramMaker」は、複雑形状や多点配置にも柔軟に対応し、用途に応じた多彩なビーム形状を簡単に設計・制御することが可能です。

量子回路の試作や半導体デバイス開発の高度化を加速させるとともに、ガラス内部改質やマルチスポット同時穴あけ、微細アブレーションといった、柔軟な波面制御を要する工程開発や試作にも幅広く対応し、半導体、量子コンピュータなどの先端テクノロジー分野における精密微細加工のご要望にお答えします。

当社では、ラボ保有のデモ機を活用した受託加工・加工トライアルサービスも提供しており、SiC、GaN、ダイヤモンドなどの次世代パワー半導体材料や高硬度脆性材料への加工、多点同時加工・収差補正などの高度な要件にも対応しています。国内大手の半導体メーカー・電子部品メーカーを含む数多くのお客様からご依頼をいただいており、材料加工トライアルからレーザー加工機システムの生産ライン導入まで、当社にて一貫したサポートが可能です。

ご興味・ご要望等ございましたら、以下までお気軽にお問い合わせください。

■製品概要