炭酸ガスレーザー

炭酸ガスレーザーの基礎は、宇野和行氏によるドクター論文：低ガス圧軸方向放電励起気体レーザーの研究(2008)[1]を主な参考文献として書かれています。この論文は光響のネットショップで購入することができます。

応用例

CO2レーザーは波長9 – 11 μm で発振し、金属、非金属の切断、穴あけ、溶接、表面改質などの加工用レ ーザーとして、また歯科用や美容用（ほくろなどの除去）の医療用レーザーとして、広く用いられている(診療科別医療用レーザー装置を参照)。最近では、EUV の研究において、Snプラズマ生成のための光源としても用いられている[2]。

CO2 レーザーの励起には高出力が得られる横方向放電励起方式が多く用いられている[3-5]。しかし、軸方向放電励起方式でもこれまでに多くの研究がなされており、横方向放電励起方式と比べて、小型で安価な産業応用に適した実用的なレーザー装置の開発が可能である[6,7]。これまでの軸方向放電励起CO2 レーザーは、放電長が長く放電インピーダンスが大きいことから、放電の形成時間が長くなり、レーザーパルスの半値幅が長く、またレーザーパルスに長いテールを持ち、加工対象に熱影響を及ぼすものであった。しかし、最近では、主放電後の後続電流を放電管の外の回路に流し、放電電流を調整するにより、短パルス発振を可能とすることが実証された[7]。

『CO2レーザーの基礎』の記事一覧

参考文献

  • [1]低ガス圧軸方向放電励起気体レーザーの研究(2008)、宇野和行
  • [2] Y. Ueno, G. Soumagne, A. Sumitani, A. Endo, and T. Higashiguchi, Appl. Phys. Lett. 91 (2007) 231501-1-3.
  • [3] A. J. Beaulieu, Appl. Phys. Lett. 16 (1970) 504-505.
  • [4] A. K. Laflamme, Rev. Sci. Inst. 41 (1970) 1578-1581.
  • [5] R. L. Schriever, Appl. Phys. Lett. 20 (1972) 354-356.
  • [6] T. Jitsuno, T. Akashi, K. Nakamura, Y. Higashiyama, S. Horiguchi, and Y, Nakajima, 第41 回レーザー熱加工研究会論文集, (1997) 9-10.
  • [7] 金平雄一、近畿大学修士学位論文 (2004).
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