KOHZU

神津精機株式会社について

精密測定機器・光学測定機器・各種試験器等のメーカーで、国内外の企業・研究機関等で幅広く使用されております。

真空対応X:XY 真空対応回転 真空対応ステージ 真空対応Zステージ 真空対応スイベル

ピックアップ製品

 

真空X/XYステージ

型式 テーブル面 移動範囲 水平耐荷重
MVXA05A-L2 50mm×50mm ±25mm 49N (5kgf)
MVXA05A-R1 50mm×50mm ±7.5mm 49N (5kgf)
MVXA07A-L2 70mm×70mm ±35mm 68.6N (7kgf)
MVXA07A-R1 70mm×70mm ±10mm 98N (10kgf)
MVXA10A-L2 100mm×100mm ±50mm 196N (20kgf)
MVXA10A-R1 100mm×100mm ±12.5mm 196N (20kgf)
MVXA16A-R1 160mm×124mm ±25mm 294N (30kgf)

真空対応回転ステージ

型式 テーブル面 回転範囲 水平耐荷重
MVRA05A-W φ49mm +174°,-84° 39.2N (4kgf)
MVRA07A-W φ68mm ±135° 58.8N (6kgf)
MVRA10A-W φ98mm ±140° 98N (10kgf)
MVRA16A-W φ140mm ±155° 196 (20kgf)

真空対応ステージの結線

名称  型式  長さ  備考
①真空対応ケーブル  HVB-R9-192SC  0.48m(19″inch) Teflonの被覆線とDAP素材のコネクタを組み合わせたものを使用しています。
 HVB-R9-392SC  0.99m(39″inch) Teflonの被覆線とDAP素材のコネクタを組み合わせたものを使用しています。
 KAP-R9-192SC  0.48m(19″inch) Kaptonの被覆線とPEEK素材のコネクタを組み合わせたものを使用しています。
 KAP-R9-392SC  0.99m(39″inch) Kaptonの被覆線とPEEK素材のコネクタを組み合わせたものを使用しています。
②大気用ケーブル  C9DAKM-030  3m (118″inch) D-Subタイプコネクタとモータコントローラ
C9DAKM-050  5m (196″inch) KOSMOSシリーズを接続するケーブルです。
③電流導入端子 9D-275 D-Subタイプコネクタを採用しています。導入端子は、真空側・大気側ともオスになっています。フランジ規格はICF70です。

真空対応Zステージ

テーブル面 移動範囲 水平耐荷重 価格 ¥
MVZA07A-W2C 70mm×70mm ±2.5mm 49N (5kgf)
MVZA07A-X1 70mm×70mm ±10mm 49N (5kgf)
MVZA10A-W2 100mm×100mm ±7mm 98N (10kgf)

真空対応スイベルステージ

型式 テーブル面 回転範囲 水平耐荷重
MVSA05B-RB 50mm×50mm ±8° 29.4N (3kgf)
MVSA05B-RM 50mm×50mm ±10° 29.4N (3kgf)
MVSA05B-RT 50mm×50mm ±10° 29.4N (3kgf)
MVSA07A-RB 70mm×70mm ±8° 49N (5kgf)
MVSA07A-RM 70mm×70mm ±10° 49N (5kgf)
MVSA07A-RT 70mm×70mm ±10° 49N (5kgf)
MVSA10A-RB 100mm×100mm ±8° 68.6N (7kgf)
MVSA10A-RM 100mm×100mm ±10° 68.6N (7kgf)
MVSA10A-RT 100mm×100mm ±10° 68.6N (7kgf)

その他

写真 型番 資料・データ
XA07A-R201-改 PDF
FM6-52-L PDF
FM6-52-R PDF

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